日本理音RION KS-93粒子传感器

RION/日本理音液体粒子计数器，可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氟酸。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。
 

特点优势

测量范围 5通道;   ≥0.1μm;  ≥0.15μm;  ≥0.2μm;  ≥0.3μm;   ≥0.5μm

最多粒子数量 30000颗/ml（误差值低于5%）

技术参数

光源 镭射二极管(波长:830nm,额定输出:200mW)

部分材料 人造石英,不锈钢，氟塑料

流量 测试流量100ml/分钟

测量范围 5通道;   ≥0.1μm;  ≥0.15μm;  ≥0.2μm;  ≥0.3μm;   ≥0.5μm

最多粒子数量 30000颗/ml（误差值低于5%）

电源 100V~240V AC,40VA(包含电源供应器KZ-50)

尺寸.重量 135(H) X 280(W) X 150 (D) mm,大约:6.5kg