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RION KS-19F液体(医药)粒子计数器

产品简介:

日本理音RION KS-19F液体(医药)粒子计数器RION/日本理音液体粒子计数器,可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子,如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料,超纯水和清洗用化学剂比如碱,有机溶剂和氢氟酸。另外,也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液,测试方法包括在线


日本理音RION KS-19F液体(医药)粒子计数器
RION/日本理音液体粒子计数器,可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子,如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料,超纯水和清洗用化学剂比如碱,有机溶剂和氢氟酸。另外,也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液,测试方法包括在线和离线测试

 

特点优势

光学方式 侧方散乱方式

光源 半导体.固体激光器(输出800mW、波长532nm)

接触部材质 蓝宝石、PFA

粒径测量范围 0.03μm~0.13μm以上

粒径段 1点~10点任意设定 

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