实时捕捉气态分子污染，AMC 在线监测赋能洁净室高阶管控

在芯片制造、生物医药等高端精密制造领域，AMC空气分子污染物堪称容易被忽略的“隐形隐患”。这类肉眼不可见的酸性、碱性气体及有机污染物，不仅会侵蚀生产设备、危害人员健康、污染产品与生产环境，还会拉低产品良率、缩短设备使用寿命。

AMC 属于大气中存在的微量分子级污染物，常态下以气态形式分布，粒径远小于常规颗粒污染物，最主要的危害就是拖累先进芯片制程的生产良率。

• 精准过滤：配置化学过滤器，针对性吸附不同AMC；

• 源头控制：选用低挥发性材料，减少污染物释放；

• 优化气流：合理组织洁净室气流，防止污染物扩散；

• 实时监测：借助传感器实时监测，污染早发现、早处理。

  
  

传统的分析方法因涉及冗长的采样流程与复杂的样品预处理环节，往往无法在短时间内输出分析数据，致使产线无法实现快速响应与工艺调控。而亿天净化AMC化学污染物在线监测系统凭借ppb级超高灵敏度特性，成为半导体制造环境实时监控的理想解决方案。

AMC在线监测系统专用于对洁净区域中的环境进行AMC（气态分子污染物）监测。该系统可与信号控制箱、监测服务器、电脑终端、专业软件、泵、多路采样器等设备配套使用，并可根据厂房的实际布局配置完整的数据线、电源线等辅助材料，实现对环境中AMC浓度的实时监测、数据展示、自动存储、历史查询与图表分析等功能，全面满足半导体洁净厂房在环境数据管理方面的需求。

• 通过监测系统对AMC物质浓度监测，建立预警系统；

• 部分监测物质检出限可达ppt级别；

• 针对RC、CxF、TVOC等物质具备定制化功能；

• 提供实时在线历史数据查看和数据图标趋势分析;

• ESKY公司具备CNAS资质实验室，可进行数据手工校验;

• 远程控制，支持 TCP/IP 以及 485 连接到现有上位机。