EDK 4500 EIMS增强离子迁谱仪

工作原理

离子迁移谱 (IMS)是一种基于均匀电场中离子-分子相互作用的分析技术。该技术的主要优点是: 结构紧凑、灵敏度高 (ppb-ppt 级) 、响应速度快 (毫秒范围) 、常压操作和分离异构体的能力。传统的 IMS 仪器主要由电离区、反应区和漂移管三部分组成离子迁移谱仪示意图

特点和优势

晶圆厂AMC 监控

环境空气 ppb 级别检测

TA、CI⁻、F-、NH₄⁺、VOC

高灵敏度

与猎户座 3100 结合，可以监控 45 个端口

实时图形软件

非放射性等离子体电离源

离子迁移谱技术具有灵敏度高 (ppb 范围) 、响应速度快 (毫秒范围) 、结构紧凑、可在大气压下操作以及能分离异构体等优点。在这篇简短的报告中，我们展示了使用 IMS 检测复化氢 (HCI) 和氟化氢 (HF) 的灵敏度和快速响应

HCI和 HF 是摩尔质量为 36.46 g/mol (HCI) 和 20 g/mol (HF) 的小分子。盐酸和气氟酸是医药、高分子、石油化工等工业中的重要化合物。这两种化学物质在半导体工业中也很重要.在许多半导体应用中，需要在低 ppb 水平下监测 HCI 和 HF 的存在

将 60 ppb的HCI与85 ppb 的 HF 进行比较。从右图很明显可见，这两个化合物可以很容易地被 EIMS 区分IMS 的分离能力可以通过降低离子门脉冲的长度来提高然而，分离度的提高会导致灵敏度的降低。另一方面，牺牲 IMS 的分辨能力可以提高灵敏度。所有这些修改都可以在软件中轻松实现，用户可以方便地设置 HCI 和 HF 检测的最佳参数。

技术参数

猎户座 3100 是半导体工业的完整 AMC系统

猎户座 3100 是一个多点区域监测系统,依次将气体吸入分析仪或通过气体传感器分析读取浓度，采样点数可根据用户需求配置。猎户座 3100 有报警和报告软件，是依据多年的经验开发的系统

猎户座 3100 可使用以太网、Modbus.RS232/RS485 或可选 4-20mA 模拟模块，最多可从4至6个分析仪或气体传感器输出数据。每个分析器都有一台内部计算机 (Linux OS)它可以无限期地存储硬盘上的数据，并通过数字(RS232)或以大网输出将实时数据发送给数据存储器。此外，该分析仪可以通过互联网远程控制。此功能允许用户在任何可以访问 internet 的地方使用 web 浏览器操作分析仪。此远程访问允许对仪器进行 bios 级控制，并提供无需现场即可获取数据和诊断仪器操作的机会

应用范围

控制软件可从多个不同位置采样分析 TA、CI⁻、F⁻、NH4⁺、VOC等AMC 进行自动化的实时查看及操作。本软件程序是专门为监测和控制 DUV 光刻过程中空气污染的半导体设备编写的。该软件灵活性较高，可应用于任何需要一个或多个分析仪进行多点采样的工业设置。功能包括简单的报警交互控制、数据记录、历史趋势和 Windows 环境中的基本分析器功能。
软件可以快速查看属于当前操作间的测量点;由于这些点的分析是 EIMS 完成的，每个测量点的目标气体都是同步检测的。对于每个测量点，可以看到上一次测量的值，而当前测量点会突出显示所在的状态。此外，还可以查看系统是在手动模式还是自动模式下测量，是在测量样本还是在后台阶段，自动序列的哪个点正在扫描，以及一个进度条，指示序列的下一步还剩多少。